1、洁净室的净化空调系统至少应有初效、中效和高效过滤器三级过滤措施。尤其是在终端应有高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)。

　　2、洁净室送风应有足够的空调(消除室内余热、余湿)和净化(保持洁净度)送风量。其送风量不仅能消除室内的余热和余湿，保证室内的温度和相对湿度，同时还能消除或稀释室内的粒子污染，保证室内的洁净度要求。

　　3、洁净室必须建立和维持必要的相对压差(正压或负压)。

　　4、洁净室应有合理的气流流型，以保证其室内的洁净度和温、湿度等参数。